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真空镀膜机主要是指一种需要在高真空度下进行的镀膜,包括真空电阻加热蒸发、电子枪加热蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积、离子束溅射等。主要思路分为蒸发和溅射。需要涂层的称为基板,涂层...
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